Description
TMFC125 Mass Flow Controller | Pengendalian Aliran Gas
Fitur Utama
- Akurasi tinggi pada laju aliran rendah
- Waktu respons cepat (≤ 1,0 detik)
- Rentang tekanan luas (hingga 1300 PSIG)
- Tidak ada kebocoran
- Tidak memerlukan kompensasi suhu atau tekanan
- Kompatibel dengan berbagai jenis koneksi
- Sensor dapat dilepas untuk menjaga stabilitas tinggi
- Nilai ketahanan korosi yang tinggi
- Linearitas sangat baik
- Stabilitas jangka panjang yang unggul
- Desain modular
- Sistem kontrol aliran yang ringkas
- Tersedia video produk
Keuntungan dan Aplikasi
Mass Flow Controller (MFC) TMFC125 digunakan untuk pengendalian presisi aliran gas dalam berbagai aplikasi industri, di antaranya:
- Pembersih plasma (Plasma Cleaner)
- Kotak/panel katup pengalihan gas (Gas diverter valve box/panel)
- Kontrol aliran keluaran kabinet silinder gas
- Kontrol keluaran generator gas
- Kontrol pengelasan api (Flame welding control)
Jenis Mass Flow Controller dalam Seri TMFM/TMFC
Mass flow controller seri TMFM/TMFC menggunakan teknologi penginderaan massa termal (thermal mass sensing) untuk mengukur dan mengontrol aliran gas berdasarkan massa gas yang mengalir.
Beberapa tipe mass flow controller dalam portofolio TMFC meliputi:
- Mass Flow Controller dengan Sensor Bypass
- Ideal untuk aplikasi gas bersih dan kering.
- Menawarkan presisi tinggi serta repeatability yang unggul.
- Mass Flow Controller dengan Prinsip In-line
- Cocok untuk gas dengan kemurnian tinggi (>99,9%).
- Pilihan tepat untuk aplikasi yang memerlukan ketahanan dan konsistensi tinggi dibandingkan akurasi absolut.
- Mass Flow Controller dengan Teknologi Kontrol Pipa (Piping Control Technology)
- Mampu mengukur dan mengontrol aliran gas secara bersamaan.
- Mass Flow Controller dengan Teknologi Chip Sensor MEMS (seperti TMFM6000)
- Sangat sesuai untuk aplikasi dengan rentang aliran luas dan membutuhkan tampilan aliran massa secara digital.
- Mass Flow Controller berbasis Teknologi In-line (CMOS)
- Menggabungkan stabilitas dan efisiensi tinggi untuk sistem otomatisasi modern.
Prinsip Kerja Mass Flow Controller (MFC)
Mass Flow Controller (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengendalikan aliran cairan maupun gas.
Setiap MFC dikalibrasi untuk jenis fluida dan rentang aliran tertentu.
- MFC memiliki set point (titik pengaturan) antara 0%–100% dari skala penuh.
Untuk akurasi optimal, MFC biasanya bekerja pada 10%–90% dari kapasitas penuh. - MFC mengontrol laju aliran agar sesuai dengan set point yang diinginkan.
- Tersedia dalam versi analog maupun digital:
- Digital MFC dapat mengatur berbagai jenis fluida.
- Analog MFC hanya sesuai dengan fluida yang sudah dikalibrasi sebelumnya.
Semua MFC terdiri dari:
- Port masuk (inlet port)
- Port keluar (outlet port)
- Sensor aliran massa (mass flow sensor)
- Katup kontrol proporsional (proportional control valve)
Sistem kontrol bekerja secara loop tertutup (closed loop control), di mana:
- Operator atau sistem eksternal memberikan sinyal input (set point).
- Sinyal ini dibandingkan dengan sinyal dari sensor aliran massa.
- Katup proporsional menyesuaikan aliran hingga mencapai nilai set point yang ditentukan.
Laju aliran biasanya ditampilkan dalam persentase dari skala kalibrasi penuh, dikontrol menggunakan sinyal tegangan.
Catatan:
Gas atau cairan yang disuplai ke MFC harus berada dalam rentang tekanan kerja yang sesuai.
- Tekanan terlalu rendah → aliran tidak akan mencapai set point.
- Tekanan terlalu tinggi → dapat menyebabkan fluktuasi aliran dan pembacaan tidak stabil.
Teknologi pengukuran yang digunakan dalam MFC dapat mencakup:
- Perbedaan tekanan (ΔP)
- Perbedaan suhu (ΔT)
- Gaya Coriolis
- Ultrasonik
- Elektromagnetik
- Turbin, dan lain-lain.
Pemasangan Mass Flow Meter
Dengan semakin luasnya penggunaan mass flow meter, sering terjadi kesalahan pemasangan (misalnya arah terbalik atau tekanan mekanis berlebih) yang dapat memengaruhi hasil pengukuran.
Tekanan mekanis yang berlebihan pada saat pemasangan dapat menyebabkan pergeseran titik nol (zero drift).
Jika tekanan ini berubah-ubah, alat akan memberikan hasil yang tidak akurat.
Oleh karena itu, pemasangan yang benar sangat penting untuk memastikan pengoperasian yang stabil dan akurat.
1. Pemilihan Metode Pemasangan
Metode pemasangan sensor bergantung pada jenis fluida dan kondisi prosesnya.
Terdapat tiga metode umum:
- Untuk fluida cair:
- Sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke bawah.
- Mencegah akumulasi udara di dalam tabung getar sensor, sehingga hasil pengukuran massa lebih akurat.
- Untuk fluida gas:
- Sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke atas.
- Menghindari pengendapan kondensat di dalam tabung sensor.
- Untuk campuran cair-padat (slurry):
- Sensor dipasang secara vertikal untuk mencegah penumpukan partikel padat.
- Metode ini juga memudahkan pembersihan dengan gas atau uap, meski pemasangannya lebih kompleks dan menyebabkan penurunan tekanan yang lebih besar.

Jenis-jenis Mass Flow Meter (Berdasarkan Bidang Keilmuan)
Dalam berbagai disiplin teknik, istilah mass flow meter dapat diartikan berbeda:
- Ilmu komputer: mass flowmeter (sensor digital)
- Teknik mesin: alat pengukur laju aliran massa fluida
- Teknik kelautan: sensor mass flowmeter bawah laut
- Teknik elektronika: pengukuran aliran massa termal
- Teknik elektro: sistem pengukuran laju aliran berdasarkan mass


