Tipe TMFC300: Pengontrol Aliran Massa

Fitur Pengontrol Aliran Massa TMFC300 | Aplikasi Kontrol Aliran Gas: Pembersih Plasma | Kotak/Disk Katup Pengalih Gas | Kontrol Aliran Keluaran Kabinet Tabung Gas | Kontrol Keluaran Generator Gas | Kontrol Pengelasan Api | Pengukuran Perpipaan Sumber Gas

Category:

Description

TMFC300 Mass Flow Controller | Pengendalian Aliran Gas

Fitur Utama

  • Akurasi tinggi pada laju aliran rendah

  • Waktu respons cepat (≦1,0 detik)

  • Rentang tekanan luas (hingga 1300 PSIG)

  • Bebas kebocoran

  • Tidak memerlukan kompensasi suhu atau tekanan

  • Kompatibel dengan berbagai jenis koneksi

  • Sensor dapat dilepas untuk stabilitas tinggi

  • Ketahanan korosi yang sangat baik

  • Linearitas yang unggul

  • Stabilitas jangka panjang yang luar biasa

  • Desain modular

  • Sistem kontrol aliran yang ringkas

  • Tersedia video produk

Keuntungan dan Aplikasi

Mass Flow Controller (MFC) digunakan secara luas dalam berbagai aplikasi industri, antara lain:

  • Pembersih plasma (Plasma Cleaner)

  • Kotak/panel katup pengalihan gas (Gas diverter valve box/panel)

  • Kontrol keluaran kabinet silinder gas

  • Kontrol keluaran generator gas

  • Kontrol pengelasan api (Flame welding)

Jenis Mass Flow Controller dalam Seri TMFM/TMFC

Mass flow controller seri TMFM/TMFC menggunakan teknologi penginderaan massa termal (thermal mass sensing) untuk mengukur dan mengontrol aliran gas berdasarkan massa gas itu sendiri.
Berikut tipe-tipe mass flow controller yang tersedia dalam portofolio TMFC:

  1. Mass Flow Controller dengan Sensor Bypass

    • Ideal untuk aplikasi gas bersih dan kering.

    • Memberikan presisi tinggi dan pengulangan (repeatability) yang sangat baik.

  2. Mass Flow Controller dengan Prinsip In-line

    • Cocok untuk gas berkemurnian tinggi (>99,9%), atau aplikasi yang membutuhkan ketahanan dan konsistensi tinggi dibanding akurasi absolut.

  3. Mass Flow Controller dengan Teknologi Kontrol Pipa (Piping Control Technology)

    • Dapat mengukur sekaligus mengontrol laju aliran gas.

  4. Mass Flow Controller berbasis Chip Sensor MEMS (seperti TMFM6000)

    • Cocok untuk kebutuhan pengukuran gas dengan rentang aliran luas dan tampilan digital yang mudah dibaca.

  5. Mass Flow Controller berbasis Teknologi In-line (CMOS)

    • Dirancang untuk sistem modern dengan keandalan tinggi dan pengukuran presisi.

Prinsip Kerja Mass Flow Controller (MFC)

Mass Flow Controller (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran cairan atau gas.
Setiap MFC dikalibrasi khusus untuk jenis fluida tertentu dan rentang aliran tertentu.

  • MFC memiliki titik pengaturan (set point) antara 0% hingga 100% dari kapasitas penuh.
    Namun, untuk akurasi optimal, MFC biasanya beroperasi dalam rentang 10%–90% dari skala penuh.

  • MFC mengatur laju aliran agar sesuai dengan set point yang diberikan.

  • Tersedia dua tipe utama: analog dan digital.

    • MFC digital dapat digunakan untuk mengontrol beberapa jenis fluida.

    • MFC analog hanya cocok untuk fluida yang telah dikalibrasi sebelumnya.

Setiap Mass Flow Controller terdiri dari:

  • Port masuk (inlet port)

  • Port keluar (outlet port)

  • Sensor aliran massa (mass flow sensor)

  • Katup kontrol proporsional (proportional control valve)

Sistem ini bekerja berdasarkan kontrol loop tertutup (closed-loop system), di mana:

  1. Operator atau komputer eksternal memberikan sinyal input (set point).

  2. Sinyal tersebut dibandingkan dengan hasil pengukuran dari sensor aliran massa.

  3. Katup proporsional secara otomatis disesuaikan untuk mencapai laju aliran yang diinginkan.

Nilai aliran ditentukan dalam bentuk persentase terhadap skala kalibrasi penuh, dan dikontrol melalui sinyal tegangan.

Catatan:
Gas atau cairan yang disuplai ke MFC harus berada dalam rentang tekanan tertentu:

  • Tekanan terlalu rendah → aliran tidak mencapai set point.

  • Tekanan terlalu tinggi → menyebabkan fluktuasi aliran.

Teknologi yang umum digunakan dalam MFC meliputi:

  • Tekanan diferensial (ΔP)

  • Perbedaan suhu (ΔT)

  • Gaya Coriolis

  • Ultrasonik

  • Elektromagnetik

  • Turbin, dan sebagainya.

Pemasangan Mass Flow Meter

Seiring meningkatnya penggunaan mass flow meter, masih banyak terjadi kesalahan dalam pemasangan — seperti pemasangan terbalik atau posisi yang tidak sesuai — yang dapat memengaruhi kinerja dan akurasi alat.

Tekanan mekanis berlebih selama pemasangan sensor dapat menggeser titik nol (zero point) dari alat.
Jika tekanan ini berubah secara berkala, akan timbul drift nol, menyebabkan pengukuran tidak akurat.
Oleh karena itu, pemasangan yang benar sangat penting untuk memastikan alat bekerja optimal.

1. Pemilihan Metode Pemasangan

Metode pemasangan sensor ditentukan oleh jenis fluida dan kondisi proses.
Terdapat tiga metode pemasangan umum:

  1. Untuk fluida cair:
    Sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke bawah agar udara tidak terperangkap di dalam tabung sensor yang bergetar, sehingga pengukuran massa lebih akurat.

  2. Untuk gas:
    Sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke atas agar kondensat tidak menumpuk di dalam tabung sensor.

  3. Untuk campuran cair-padat (slurry):
    Sensor dipasang secara vertikal agar partikel padat tidak mengendap di dalam tabung pengukur gaya Coriolis.
    Metode ini juga memudahkan pembersihan menggunakan gas atau uap, meskipun lebih sulit dipasang dan menghasilkan penurunan tekanan lebih besar dibanding dua metode lainnya.

Rumus Aliran Massa

(Rumus umum untuk menghitung laju aliran massa berdasarkan aliran volumetrik dan densitas fluida.)

Jenis-Jenis Mass Flow Meter

Dalam berbagai bidang teknik, istilah mass flow meter memiliki beberapa interpretasi, antara lain:

  • Istilah komputer: mass flowmeter

  • Teknik mesin: mass flow meter

  • Teknik kelautan (rekayasa bawah laut): sensor mass flowmeter

  • Teknik elektronik: thermal mass flow

  • Teknik listrik: pengukuran aliran massa