Description
TMFC30 Mass Flow Controller | Pengendalian Aliran Gas
Fitur Utama
- Akurasi tinggi pada laju aliran rendah
- Waktu respons cepat (≤ 1,0 detik)
- Rentang tekanan kerja luas hingga 1300 PSIG
- Tanpa kebocoran
- Tidak memerlukan kompensasi suhu atau tekanan
- Kompatibel dengan berbagai jenis koneksi sambungan
- Sensor dapat dilepas untuk stabilitas tinggi
- Ketahanan terhadap korosi yang sangat baik
- Linearitas tinggi dan konsisten
- Stabilitas jangka panjang yang unggul
- Desain modular untuk kemudahan perawatan
- Sistem kontrol aliran yang ringkas dan efisien
- Tersedia video produk
Keunggulan dan Aplikasi
Mass Flow Controller (MFC) TMFC30 digunakan untuk mengontrol dan mengukur laju aliran gas dengan presisi tinggi pada berbagai aplikasi industri, antara lain:
- Pembersih plasma (Plasma Cleaner)
- Kotak/panel katup pengalihan gas (Gas diverter valve box/panel)
- Kontrol aliran keluaran kabinet silinder gas
- Kontrol keluaran generator gas
- Kontrol pengelasan api (Flame welding control)
Jenis Mass Flow Controller dalam Seri TMFM/TMFC
Mass Flow Controller seri TMFM/TMFC menggunakan teknologi penginderaan massa termal (Thermal Mass Sensing Technology) untuk mengukur dan mengendalikan laju aliran gas berdasarkan massa aktual gas yang mengalir.
Dalam seri TMFC tersedia berbagai jenis sensor dengan teknologi berbeda, yaitu:
- Mass Flow Controller dengan Sensor Bypass
- Contohnya seri TMFC dan TMFM.
- Cocok untuk gas kering dan bersih, dengan kebutuhan presisi dan repeatability tinggi.
- Mass Flow Controller dengan Prinsip In-line (On-line Principle)
- Ideal untuk gas dengan kemurnian tinggi (≥99,9%).
- Direkomendasikan ketika stabilitas dan daya tahan (robustness) lebih penting dibandingkan akurasi absolut.
- Mass Flow Controller dengan Teknologi Kontrol Pipa (Piping Control Technology)
- Dapat mengukur dan mengendalikan aliran gas secara bersamaan dalam satu perangkat.
- Mass Flow Controller dengan Teknologi Sensor MEMS (contohnya TMFM6000)
- Tepat digunakan pada sistem yang membutuhkan tampilan laju aliran massa dengan rentang aliran yang luas.
- Mass Flow Controller dengan Teknologi In-line (CMOS)
- Menggunakan sensor berbasis semikonduktor untuk performa presisi tinggi, stabil, dan cepat.
Prinsip Kerja Mass Flow Controller (MFC)
Mass Flow Controller (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol laju aliran gas maupun cairan.
Setiap MFC dirancang dan dikalibrasi untuk fluida dan rentang aliran tertentu.
- Dapat diatur pada set point antara 0%–100% dari kapasitas penuh.
- Untuk akurasi terbaik, umumnya dioperasikan pada 10%–90% dari skala penuh.
- Tipe analog hanya dapat digunakan untuk fluida yang telah dikalibrasi, sedangkan tipe digital dapat mengatur berbagai jenis gas.
Struktur MFC terdiri dari:
- Port masuk (Inlet Port)
- Port keluar (Outlet Port)
- Sensor aliran massa (Mass Flow Sensor)
- Katup proporsional (Proportional Control Valve)
Sistem loop tertutup (Closed-loop control system):
- Operator atau sistem eksternal memberikan sinyal masukan (set point).
- Nilai ini dibandingkan dengan pembacaan sensor aliran massa.
- Katup proporsional menyesuaikan bukaan untuk mencapai aliran yang diinginkan.
Laju aliran biasanya ditampilkan sebagai persentase dari kapasitas penuh kalibrasi, dan dikendalikan melalui sinyal tegangan listrik.
Catatan:
Tekanan suplai fluida harus dalam rentang yang ditentukan.
- Tekanan terlalu rendah → suplai tidak mencukupi dan set point tidak tercapai.
- Tekanan terlalu tinggi → menyebabkan fluktuasi laju aliran.
Beberapa teknologi pengukuran massa fluida yang digunakan meliputi:
- Diferensial tekanan (ΔP)
- Diferensial suhu (ΔT)
- Gaya Coriolis
- Ultrasonik
- Elektromagnetik
- Turbin
Pemasangan Mass Flow Meter
Penerapan mass flow meter semakin meluas di berbagai industri, namun kesalahan pemasangan masih sering terjadi, seperti arah terbalik, posisi salah, atau tekanan mekanis berlebih yang menyebabkan pengukuran tidak akurat.
Tekanan mekanis berlebih saat pemasangan dapat mengubah titik nol (zero drift) sensor, sehingga pembacaan menjadi tidak stabil. Oleh karena itu, pemasangan yang benar sangat penting untuk menjaga keandalan alat.
1. Pemilihan Metode Pemasangan
Metode pemasangan ditentukan oleh jenis fluida dan kondisi prosesnya.
Ada tiga metode utama:
- Untuk fluida cair:
- Pasang sensor dengan cangkang menghadap ke bawah.
- Mencegah akumulasi udara di tabung getar sensor sehingga hasil pengukuran massa lebih akurat.
- Untuk fluida gas:
- Pasang sensor dengan cangkang menghadap ke atas.
- Mencegah kondensat terkumpul di dalam tabung getar sensor.
- Untuk campuran cair-padat (slurry):
- Pasang sensor pada pipa vertikal.
- Mencegah penumpukan partikel padat di tabung pengukur Coriolis.
- Metode ini juga memudahkan pembersihan pipa dengan gas atau uap, tetapi memerlukan penopang yang lebih kuat dan menyebabkan penurunan tekanan lebih besar.

Jenis-jenis Mass Flow Meter (Berdasarkan Bidang Teknik)
Menurut berbagai bidang teknik, istilah Mass Flow Meter memiliki makna berbeda:
- Teknik komputer: sensor aliran berbasis sistem elektronik digital.
- Teknik mesin: alat pengukur laju aliran fluida berbasis massa.
- Teknik kelautan: sensor pengukuran massa fluida bawah laut.
- Teknik elektronika: sensor aliran massa termal.
- Teknik elektro: sistem pengukuran laju aliran berbasis massa fluida.



