Description
TMFC500 Mass Flow Controller | Pengendalian Aliran Gas
Fitur Utama
- Akurasi tinggi pada aliran rendah
- Respons cepat (≦1.0 detik)
- Rentang tekanan luas hingga 1300 PSIG
- Tanpa kebocoran
- Tidak memerlukan kompensasi suhu atau tekanan
- Kompatibel dengan berbagai jenis koneksi
- Sensor dapat dilepas untuk meningkatkan stabilitas
- Nilai ketahanan korosi tinggi
- Linearitas sangat baik
- Stabilitas jangka panjang yang luar biasa
- Desain modular
- Sistem Pengendalian Aliran yang Kompak
- Tersedia video produk
Keunggulan dan Aplikasi
Mass Flow Controller (MFC) banyak digunakan untuk aplikasi berikut:
- Pembersih plasma (Plasma Cleaner)
- Kotak/panel katup pengalihan gas (Gas diverter valve box/panel)
- Kontrol keluaran kabinet silinder gas
- Kontrol keluaran generator gas
- Kontrol pengelasan api (Flame welding)
Jenis-Jenis Mass Flow Controller dalam Seri TMFM/TMFC
Mass flow controller seri TMFC/TMFM menggunakan teknologi penginderaan massa termal untuk mengontrol aliran gas berdasarkan massa.
Berikut beberapa tipe MFC dalam portofolio TMFC, masing-masing dengan teknologi sensor yang berbeda:
- MFC dengan sensor bypass
Cocok untuk gas bersih dan kering.
Memberikan presisi tinggi dan pengulangan (repeatability) yang sangat baik. - MFC dengan prinsip in-line
Ideal untuk gas dengan kemurnian tinggi (>99,9%), atau aplikasi yang lebih membutuhkan repeatability dan ketahanan daripada akurasi absolut. - MFC dengan teknologi kontrol pipa (piping control)
Mampu mengukur dan mengontrol aliran gas secara bersamaan. - MFC berbasis sensor chip MEMS (seperti TMFM6000)
Cocok untuk aplikasi yang membutuhkan tampilan aliran dan rentang pengukuran lebar. - MFC dengan teknologi in-line (CMOS)
Digunakan untuk sistem pengukuran gas modern dengan akurasi dan keandalan tinggi.
Prinsip Kerja Mass Flow Controller (MFC)
Mass Flow Controller (MFC) adalah perangkat yang digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran cairan maupun gas.
Setiap MFC dirancang dan dikalibrasi untuk jenis fluida tertentu serta rentang aliran tertentu.
- MFC dapat diatur pada set point 0%–100% dari skala penuh, namun biasanya dioperasikan pada 10%–90% untuk hasil akurasi terbaik.
- Perangkat akan menyesuaikan laju aliran agar sesuai dengan set point yang ditentukan.
- MFC tersedia dalam versi analog dan digital.
- MFC digital biasanya dapat mengontrol berbagai jenis fluida.
- MFC analog hanya terbatas pada fluida yang telah dikalibrasi.
Setiap MFC memiliki:
- Port masuk (inlet port)
- Port keluar (outlet port)
- Sensor aliran massa (mass flow sensor)
- Katup kontrol proporsional (proportional control valve)
Sistem ini bekerja dalam loop tertutup (closed-loop control system).
Sinyal input dari operator atau komputer dibandingkan dengan sinyal dari sensor aliran massa.
Katup proporsional kemudian menyesuaikan aliran untuk mencapai set point yang diinginkan.
Aliran diukur dalam bentuk persentase dari skala kalibrasi penuh dan dikontrol melalui sinyal tegangan.
Catatan:
Gas atau cairan suplai harus berada dalam rentang tekanan tertentu:
- Tekanan terlalu rendah → MFC kekurangan fluida, tidak mencapai set point.
- Tekanan terlalu tinggi → Aliran menjadi tidak stabil.
Berbagai teknologi digunakan untuk mengukur dan mengontrol aliran fluida, antara lain:
- Tekanan diferensial (ΔP)
- Perbedaan suhu (ΔT)
- Gaya Coriolis
- Ultrasonik
- Elektromagnetik
- Turbin, dan lain-lain.
Pemasangan Mass Flow Meter
Dengan meningkatnya penggunaan mass flow meter, masih banyak kasus pemasangan yang kurang tepat (misalnya terbalik atau salah posisi), yang dapat memengaruhi performa alat dan keakuratan pengukuran.
Tekanan mekanis berlebih saat pemasangan sensor dapat memengaruhi titik nol (zero point) alat.
Jika tekanan tersebut berubah-ubah, drift titik nol dapat terjadi, mengakibatkan pengukuran yang tidak akurat.
Oleh karena itu, pemasangan yang benar sangat penting untuk memastikan kinerja optimal perangkat.
1. Pemilihan Metode Instalasi
Metode pemasangan sensor ditentukan oleh fase fluida serta kondisi prosesnya.
Terdapat tiga metode umum:
- Untuk cairan:
Sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke bawah untuk mencegah akumulasi udara di dalam tabung getar sensor, memastikan pengukuran massa yang akurat. - Untuk gas:
Sensor dipasang dengan cangkang menghadap ke atas untuk mencegah kondensat menumpuk di tabung getar sensor. - Untuk campuran cair-padat (slurry):
Sensor dipasang secara vertikal untuk mencegah partikel padat mengendap di tabung pengukur gaya Coriolis.
Metode ini juga memudahkan proses pembersihan dengan gas atau uap, meskipun lebih sulit dipasang dan memiliki kehilangan tekanan lebih besar dibanding dua metode sebelumnya.
Rumus Aliran Massa
(Digunakan untuk menghitung laju aliran massa berdasarkan laju aliran volumetrik dan densitas fluida.)
Jenis-Jenis Mass Flow Meter
Berdasarkan bidang teknik, istilah “mass flow meter” memiliki beberapa interpretasi:
- Istilah komputer: mass flowmeter
- Teknik mesin: mass flow meter
- Teknik kelautan (rekayasa bawah laut): sensor mass flowmeter
- Teknik elektronik: thermal mass flow
- Teknik listrik: pengukuran aliran massa
